第438章 光刻机项目：另辟蹊径第(1/2)页
沐阳研究更新后的阅读系统两个多小时才研究透，兴奋得睡不着。

    喝了一杯茶，他想看看芯片制造技术的核心设备：光刻机。

    目前市场上，有两种主流光刻机，一个是duv光刻机，另一个是euv光刻机。duv是深紫外线deeputravioetithography，euv是极深紫外线extreutravioetithography。

    从制程范围来看，duv基本上只能做到25nte凭借双工作台的模式做到了10n但是却无法达到10n下。

    只有euv能满足10n下的晶圆制造，并且还可以向5n3n续延伸。

    这个线宽其实就是跟光的线宽有关系，比如可见光的g线，那就是436n如果用来刻蚀，线路肯定很宽。

    可以简单地认为，光刻机的光系统其实就是一支画笔，不同的光代表不同粗细大小的笔芯，越细的笔光能够画越细越复杂的画。

    duv就是彩笔，euv就是中性笔，中性笔画的线条比较细，比较好用。

    这么理解，也好理解光刻机到底如何刻蚀电路图了。

    当前，国外品牌光刻机主要以荷蓝as，岛国nikon和n三大品牌为主。

    euv的价格是13亿美金台，duv的价格为2000万5000万美金台不等。

    目前先进的光刻系统就是euv光刻机，如果沐阳打算走euv光刻机路线，必然绕不开别人的技术专利保护范围。

    因此，他只能寻找另外光种的光刻机，同时要考虑到光的分辨率、对准精度、曝光方式、光源波长、光强均匀性、生产效率等指标。

    就说分辨率，如果制作出来的电路图模糊不清，那芯片肯定不好。

    光刻机其它的指标，也可以比喻成画笔的性能就行了。

    并不是说，沐阳不能搞光刻机了，只是说，再搞duv和euv光刻机，绕不开以上三家企业的技术专利保护范围。

    所以，他只能另辟蹊径。

    很久之前，沐阳就想到过电子束光刻机。

    原本，再过几年，漂亮国的一个实验室研发出一套名为zyvexitho1的光刻系统，基于st扫描隧道显微镜，使用的是ebebeaithography电子束光刻方式，制造出了07n宽的芯片，只是没法实现批量生产，或者成本高过。

    沐阳相信，如果是技术成熟的电子束光刻机，线宽比07n小。

    他在系统商店普通货架上默念搜索「电子束光刻机」，很快，搜索出几款相关技术。

    沐阳选择适合自己公司的一款技术：eb01

    技术参数：

    1最小线宽：小于1n

    2加速电压：5500kv

    3电子束直径：小于05n

    4套刻精度：1nan020

    5拼接精度：1nan020

    6加工晶圆尺寸：4英寸

    7描电镜分辨率：小于02n

    主要特点：

    1采用超高亮度和超高稳定性的tfe电子枪；

    2出色的电子束偏转控制技术；

    3采用场尺寸调制技术，电子束定位分辨率可达00002n

    4采用轴对称图形书写技术，图形偏角分辨率可达0002ad；

    5应用领域广泛，如

    微纳器件加工，研究用掩膜制造，纳米加工例如单电子器件、量子器件制作等，高频电子器件中的混合光刻，图形线宽和图形位移测量等。

    需要成就点：300点

    沐阳大概看了下简介，光从技术参数上就看出它的先进性。

    还有更加先进的光刻机，但是，以星海集团目前的条件，买了也造不出来，而且需要的成就点非常多。

    这个eb01号称可以制造1n下的芯片，但量产成本会比较高。

    因此，当前的情况，星海集团可以从7n片工艺开始，可以保证在201地位。

    等竞争对手可以批量搞7n片了，星海集团再推出5n3n片。

    有些设备应用，也用不着这么高端的芯片，28n片工艺足够，也是未来十年内的主流。

    只是说，沐阳不打算玩什么中低端芯片。

    另外，沐阳打算弄一些小于1n芯片，用于制造量子计算机和超算，这类芯片他打算自用。

    接下来，沐阳确认购买eb01技术。

    十几分钟后，沐阳把eb01技术吸收完毕。

    他感觉自己对光刻机有了更深入的了解，如今就是实实在在的芯片制造顶尖专家。

    买了光刻机的技术，沐阳还得购买芯片设计技术、芯片设计相关软件和相关设备。

    这个芯片设计软件，他就不打算自己研发了，他在芯片软件设计这一块是弱点，靠自己研究不知道得花多长时间。

    而且，目前公司形势严峻，一旦漂亮国知道自己公司在搞芯片了，会对星海集团搞各种限制。

    沐阳现在赶时间，同时还有更多更重要的事情需要他亲自处理。

    于是，他又花了400点成就点。

    这一晚，沐阳就花了700点成就点，还是有些心疼。

    等吸收完新技术后，沐阳实在有些发困了，回床休息。

    翌日，沐阳是被宋雪露吧嗒一下脸蛋睡醒的。

    「孩子他爸，生日快乐。」

    「谢谢，有你真好。」

    沐阳睁开朦胧的双眼，揽过妻子的纤腰。

    他老婆跟他同年出生，只比他小几个月。

    系统8级时，商店有驻颜、延迟衰老类的医药技术，沐阳希望在二十年内研发出来，能够用在老婆身上。

    「我看你挺疲惫的，昨晚几点睡的」

    「好像凌晨三点多了吧。」

    「这么晚呀，又有什么烦恼」

    「不是烦恼，就是突然想到一些灵感，就起来记录一下。「沐阳揉一揉老婆的秀发道。

    「哦，现在才七点多，你继续睡一会吧。」

    沐阳点头，继续补觉，直到九点才起床。

    今天他生日，也没搞什么庆祝仪式，他不太喜欢搞这一套，现在家里不缺钱，吃喝都是最好的，每天过得跟过节一样。

    吃过早餐，陪了一会孩子。

    现在孩子已经会喊他爸爸了，只是发音不够清晰。

    他对几个照看孩子的婴儿师和佣人检测了一下忠诚度。


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