第一百三十一章 光刻机技术路线第(2/2)页
莪最近对光刻机很感兴趣，所以想和前辈聊聊。”

    林本坚的交流。

    “现在光刻机的主流光源采取的是krf，但是前辈你一直认为arf才是未来的发展方向。

    实际上工业界没有谁采用arf，无论是尼康还是佳能，他们都一直在krf上投入研发经费。

    我想知道为什么前辈你这么看好arf。”

    arf和krf是光刻技术中使用到的深紫外光源，目前主流厂商采用的全部都是krf。

    as和台积电合作，在林本坚的带领下，最早开始大规模往arf方向投入，这也是后续as实现技术垄断的关键因素之一。

    说到这里就多说两句，大家都知道光刻机是半导体制程中的关键设备，用于将设计图案转移到晶圆上。

    但是具体光刻机是怎么作业的，很多人并不是那么清楚。简单来说先在晶圆表面涂上一层光敏性的光刻胶，这种光刻胶会在紫外光照射下发生化学反应，然后改变它的溶解性。

    国内光刻机被卡脖子，光刻胶同样被卡脖子。

    然后使用光掩膜，一个上面有着细微图案的透明载体，细微图案代表了集成电路中的不同元件和互连。光掩膜被放置在光刻机的光源和硅晶圆之间。

    光刻机中的光源krf或者arf照射到光掩膜上。

    光通过图案的开放区域，被阻挡的部分与图案相对应。

    然后，光通过投影光学系统，该系统将图案缩放并聚焦到硅晶圆上涂有光刻胶的表面。

    经过曝光后，光刻胶中的光敏材料发生化学变化。

    在阳性光刻胶中，曝光区域变得更容易溶解；在阴性光刻胶中，曝光区域变得更不容易溶解。

    将硅晶圆浸入显影液中，溶解掉光刻胶中发生化学变化的区域。这样，光掩膜上的图案就被准确地转移到硅晶圆表面的光刻胶上。

    光刻胶图案形成后，通过刻蚀、掺杂或金属沉积步骤将逐层构建出完整的芯片。

    在没有线上百科，不对，现在已经有quora百科了，总之能够准确说出arf和krf证明周新在光刻机领域还是有比较深入研究的。

    毕竟很多光刻机领域的从业人员都不知道还有arf这条技术路线。

    林本坚说：“arf的波长是193n，而krf光源的波长是248n，较短的波长有助于实现更高的分辨率和更精细的图案。”

    周新问：“但是arf他在具体处理更小的制程节点的时候，会出现更多的线性波动和不规则性。

    虽然arf波长更短，但是它的不可控性更高。

    这对于工业化生产来说是大忌。这才是为什么尼康也好，as也好，在尝试过arf之后，都不愿意继续朝着这个方向投入研发成本的最重要原因吧。”

    周新话音刚落，林本坚脸色大变，周新知道arf和krf，这他能理解。

    因为这些都是发表在公开期刊上的内容，但凡对光刻机感兴趣的人，都有机会阅读到。

    但是周新能够准确说出不往arf方向投入的原因，即便从业人员，都没有办法知道的内容。

    网页版章节内容慢，请下载爱阅小说app阅读最新内容

    “沈兄”

    “嗯”

    沈长青走在路上，有遇到相熟的人，彼此都会打个招呼，或是点头。

    但不管是谁。

    每个人脸上都没有多余的表情，仿佛对什么都很是淡漠。

    对此。

    沈长青已是习以为常。

    因为这里是镇魔司，乃是维护大秦稳定的一个机构，主要的职责就是斩杀妖魔诡怪，当然也有一些别的副业。

    可以说。

    镇魔司中，每一个人手上都沾染了许多的鲜血。

    当一个人见惯了生死，那么对很多事情，都会变得淡漠。

    刚开始来到这个世界的时候，沈长青有些不适应，可久而久之也就习惯了。

    镇魔司很大。

    能够留在镇魔司的人，都是实力强横的高手，或者是有成为高手潜质的人。

    沈长青属于后者。

    其中镇魔司一共分为两个职业，一为镇守使，一为除魔使。

    任何一人进入镇魔司，都是从最低层次的除魔使开始，

    网站即将关闭，下载爱阅app免费看最新内容

    然后一步步晋升，最终有望成为镇守使。

    沈长青的前身，就是镇魔司中的一个见习除魔使，也是除魔使中最低级的那种。

    拥有前身的记忆。

    他对于镇魔司的环境，也是非常的熟悉。

    没有用太长时间，沈长青就在一处阁楼面前停下。

    跟镇魔司其他充满肃杀的地方不同，此处阁楼好像是鹤立鸡群一般，在满是血腥的镇魔司中，呈现出不一样的宁静。

    此时阁楼大门敞开，偶尔有人进出。

    沈长青仅仅是迟疑了一下，就跨步走了进去。

    进入阁楼。

    环境便是徒然一变。

    一阵墨香夹杂着微弱的血腥味道扑面而来，让他眉头本能的一皱，但又很快舒展。

    镇魔司每个人身上那种血腥的味道，几乎是没有办法清洗干净。

    请退出转码页面，请下载爱阅小说app 阅读最新章节。

    为你提供最快的千禧年半导体生存指南更新，第一百三十一章 光刻机技术路线免费阅读。:

『加入书签，方便阅读』